学霸的军工科研系统 第1467节

顿顿，抛更震撼信息：

“次‘驺虞’首飞功，思考超高速飞涉及超复杂流体问题，获些……关键灵感，基本已找解决n-s程存性光滑性问题思路……回京之，集精力，开始手攻关。”

消息果搁以往，足够别震惊儿新闻。

但今，辆巴车，栾文杰向华平已完全麻木，甚至些呆滞。

“以……呢？”

常浩南解释：“果功，意味，切黏性流体运动，论复杂，理论变预测、精确控制……，包括困扰聚变研究高温等离体湍流稳性问题。”

，车队已缓缓驶入津门海河新区基门。

车辆平稳减速，但栾文杰似乎完全察觉。

全部神被常浩南描绘图景占据，巨信息量让感阵眩晕。

“等等！”栾文杰猛回神，身体觉倾，急切追问，甚至忽略车已停稳，“算解决等离体控制，产强度约束磁场，需电流文数字！耗怎解决？工程怎实现？”

常浩南显早考量：“磁场系统耗户，关键超导材料。”

解开安全带，边解释遍身准备车：

“火炬实验室单原金属界设计材料模拟已深厚积累，科院物理超导重点实验室，恰现类铜氧体系新材料，高压环境展现非常潜力特性。”

“目两边正计划合，目标把类材料超导临界温度压力推150k以，虽需冷却，但相比传统液氦温区，工程难度耗已幅降低，完全投入规模化应。”

车门被司机外轻轻拉开，微冷空气涌入。

迎接群已车外列队等候，栾文杰站身。

但思维停留常浩南勾勒聚变蓝图，动显些焉。

脚刚踏车梯，忍住回头，压低声音急切问常浩南：“……立刻立项，建设全新、更强托卡马克实验装置，像east全升级版，或全新设计？”

常浩南随车，站车旁。

“栾任现需，恐怕研究装置。”眯眼睛，迎向东阳光，“完整聚变电试验示范堆……”

第1650章 7n代，！

早春冷风吹散车讨论带灼热感。

栾文杰深吸口气，强迫己“聚变示范堆”超震撼性目标抽离。

眼，实实、触手及程碑——华芯际津门海河基。

常浩南次访近两，arf1800光刻机连八字撇，整海河基研究重曝光技术，以便duv光源造高制程芯片。

但今，台承载数期望“之重器”，已稳稳安放产线脏位置。

基负责黄炜华芯际技术总监吴明翰带热情克制笑容迎，身众基管理技术骨干。

“栾任，常院士，向总，路辛苦！欢迎莅临指导！”黄炜声音洪亮力，话间往迈几步近乎带雀跃。

“总算等，盼各位领导证。”吴明翰倒表现相内敛，握手候晃动幅度力度比往常少。

显，喜悦内。

即便寒暄，嘴角弧度几乎压。

简短欢迎仪式，被引导入更衣区。

繁琐尘服穿戴程序丝苟：脱外套，换连体洁净服，戴头套、口罩、护目镜，套鞋套。

接严格风淋，强劲气流吹走微粒。

最气闸门，正式踏入产区核带——

恒温度，适宜湿度，lass 100级别尘超净间。

柔顶光均匀洒，照亮排列整齐动化设备纵横交错物料传输线。

穿样白色尘服技术员精密仪器部，各岗位专注操或监控数据，切井序，轻微蜂鸣气流声。

几乎刚门，众目光约被吸引产区域位置。

摆放台体积明显更光刻设备。

稍微走近几步之，银灰色外壳，“arf1800”标识清晰醒目。

刻，群技术员正围拢它操台监控屏幕，流片最确认。

头顶高处挂标识牌：f-3产线。

“它。”吴明翰声音带豪引众走安全观察距离，“arf1800，己深紫外光刻机。”

指向设备，开始介绍，语速平稳却透信：“台机器，光源、掩膜台、准系统、控制系统，充继承代1500型1200型熟设计理念操逻辑，并做量优化。尤光源稳性准精度，提升显著。”

眼神带感激眼常浩南：“工程师团队全程参沪微电组装调试，它‘脾气’摸很透以次产线升级员培训非常顺利，比预期更快克服最些技术问题。”

，盒承载希望硅晶圆基底，通动物料传输系统（ahs）机械臂，平稳运送f-3产线始工位。

常浩南记己次场景。

些晶圆比之圈。

“12英寸晶圆吧……”常浩南问，“次跟提新硅片厂，已投产？”

“常院士眼力！”

吴明翰赞，脸笑容更盛：

“arf1800高辨率高产效率给省少资源精力，以次步升级f-3产线晶圆处理系统，全兼容12英寸晶圆。尺寸晶圆显著提升单次产芯片数量，降低本，际流向。”

众视线随逐铺展开晶圆整条产线断转移——

晶圆首先入全动清洗烘设备，除表污染物水。

接氧化炉，晶圆表长层薄均匀氧化硅。

随，晶圆被送入关键匀胶机。

高速旋转，粘稠光刻胶被精准涂覆晶圆表，形层厚度仅微米级别均匀薄膜，接烘氧化步除溶剂，固化胶膜。

华芯际言，些步骤已相熟。

但仍屏息凝神，怕稍微粗重些呼吸影响某细微参数，或引机魂悦。

完准备晶圆，终被机械臂翼翼送入arf1800光刻机内部。

几颗齐齐提。

但干急。

光刻程设备内部完，根本办直接目视观察。

众听低沉嗡鸣声节奏变化，设备周围伺服机构开始动，高精度掩模台晶圆台纳米尺度高速精准协运动，充满科技特力量感。

“光刻核，简单理解，像极精密‘光’笔，把设计电路图‘画’涂感光胶晶圆。”

或许为缓解紧张气氛，吴明翰转身，最通俗类比介绍整光刻程：

“掩模版高精度‘底片’，刻放电路图形，光源深紫外光物镜组汇聚穿掩模版，再系列复杂光透镜系统缩聚焦，最终微缩几倍甚至百倍电路图案，精准‘曝光’晶圆光刻胶层……”

“……”

顿顿，语气带庆幸信：

“益arf1800本身极高辨率套刻精度，产代7纳米制程节点产品，需再依赖相移掩模或重曝光类极端技术，以次流片良品率非常信。”

随吴明翰话音，arf1800内部，肉眼精密程正：

激光脉冲精准激，掩模台纳米级精度移动、准，复杂光系统掩模版图形以极高辨率投影晶圆光刻胶层。

监控屏幕，代表曝光程度条平稳推。

曝光完晶圆被送，入烘步骤，使曝光区域化反应更加彻底，图形更加稳。

接显影环节，特化溶液被喷洒晶圆表，溶解掉未被光源照射区域光刻胶，掩模板电路图形“显影”，清晰呈现晶圆表。

影流程则步强化剩余光刻胶图形稳性，使承受续蚀刻冲击。

随，晶圆浸入特制化刻蚀液，光刻胶保护区域被选择性除掉。

最终，刻蚀完，完使命光刻胶层被彻底除干净……

……

最沉积工序完，第批完整端工序处理晶圆被送工腔，把气氛推顶点

吴明翰示意工员片晶圆置带特殊角度照明观察台，隔洁净保护罩展示给众。

特角度光线照射，光滑镜硅晶圆表，清晰呈现数细密肉眼几乎辨细节、但排列极规整序几何图形——晶体管栅极、源漏区、隔离槽等基础器件轮廓。

它层层迭迭，构芯片最基础“基”。

实际，吴明翰早已准备候解词。

既专业煽情。

眼幕，却己首先抑制住积压已久情绪，弯腰贴保护罩表，欣赏己孩般，痴醉紧盯块晶圆。

甚至连吐话语带几哭腔：

“各位……”

两字，哽咽声。

栾文杰搞航身，常浩南搞航空身，理解刻情。

因，催促。

任由罩调整态。

，吴明翰才重新开口：

“各位领导，虽些图形需续金属互连，金属导线它按设计求连接，通入电脉冲信号，才真正为颗功芯片。但——”

深吸口气，目光扫常浩南、栾文杰、向华平，以及周围屏息凝神技术团队，字句，铿锵力：

“步，晶圆制造程最复杂、最核、决芯片最特征尺寸光刻步骤已完…………已圆满完arf1800光刻机首次产测试任务！”