六十三章与SONY谈判前的准备(二)
电子帝国传奇 · 梦中行走的猪
提材料,提奠本精密加工以及精密芯片业统治位另基础产业,光刻机。
光刻机产规模集电路核设备,制造维护需高度光电工业基础,世界少数厂掌握。因光刻机价格昂贵,通常3,000至5,0000万美元。
光刻机/紫外曝光机(askaligner)名:掩模准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常光刻机掩膜准光刻,以叫askalignentsyste.
般光刻工艺历硅片表清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、准曝光、烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。
phtlithgraphy(光刻)意思光制图形(工艺)。
硅片表匀胶,掩模版图形转移光刻胶程器件或电路结构临“复制”硅片程。
高端投影式光刻机为步投影扫描投影光刻机两,辨率通常几纳米至几微米之间,高端光刻机号称世界最精密仪器,世界已7000万美金光刻机。高端光刻机堪称现代光工业之花,制造难度之,全世界少数几司够制造。外品牌以荷兰a**l(镜头德),本尼康(intel曾购买nikn高端光刻机)本佳品牌为。
光刻机最重曝光系统、工件台准系统。
曝光系统功平滑衍射效应、实现均匀照明、滤光冷光处理、实现强光照明光强调节等。
工件台由掩模样片整体运动台(xy)、掩模样片相运动台(xy)、转动台、样片调平机构、样片调焦机构、承片台、掩模夹、抽拉掩模台组。
,样片调平机构包括球座半球。调平程首先球座半球通压力空气,再通调焦手轮,使球座、半球、样片向运动,使样片掩模相靠找平样片,位通电磁阀球座半球切换为真空锁紧保持调平状态。
样片调焦机构由调焦手轮、杠杆机构升直线导轨等组,调平升程初步调焦,调平完锁紧球气浮,样片掩模之间产间隙,因必须微调焦。另,调平完准,必须离准间隙,需微调焦。
抽拉掩模台快速片,由燕尾导轨、位挡块锁紧手轮组。承片台掩模夹根据样片掩模尺寸设计。
工件台切操需准系统辅助,手工调节。
制造高精度准系统需具近乎完美精密机械工艺,准系统另外技术难题准显微镜。为增强显微镜视场,许高端光刻机,采led照明。
准系统共两套,具备调焦功。由双目双视场准显微镜体、目镜物镜各1(光刻机通常提供放倍率目镜物镜供户组合使)。
杨乐sny司d感光元件感兴趣、甚至惜丢脸垂涎尺,为d应准系统,世应广泛d准系统掩模样片准标记放并像监视器。
错,杨乐想借入光刻机市场。
想入真正高科技业,除本尼康佳入手以外,杨乐暂别,因为业系统工程,高端光刻机集精密光、机械、控制、材料等先科技工程技术体,集电路装备技术难度最高、价格最昂贵关键设备,被称为类技术展制高点制造工业“皇冠明珠”。
光刻机水平决集电路展水平,它i制造设备价值链占30%—40%。光刻机难点聚焦准光源、光系统超精密运动高速工台。犹世界两片相叶,样,两台模样光刻机。每台光刻机,己独“光刻指纹”。杨乐最终目产完全属己光刻机。
台光刻机万零部件电脑程序控制复杂协调联动,运动精准程度误差超根头丝千之,异头“绣花”!打通俗比喻,坐架超音速飞飞机,拿线头穿另架飞飞机针孔。
光刻机像,系统体各器官。首先,总体框架,每“器官”尺寸必须系统设计,否则五花八门,,合规范。次,即使各单位制造“器官”符合指标求,但装系统常常现问题,存很复杂因素。集验通量工程演练才形。常烧病,先体质原因,光刻机性指标;因素,靠“医”集部门诊断,技术员仅“验血检查”,告诉供应商真正病根。
比,今气温度变,空气压力变,设备焦准确。需研部门做仿真模拟,研究空气哪些部件影响,或许遇问题,百思解,往往需花费数间才解决。任何集创新,程研部门常遇死胡,为绝反击,死回,除把往砸资金以外,别!
光刻机像台精密复杂特殊照相机,芯片制造“义图形”最为重机器。
每颗芯片诞之初,光刻技术锻造。光刻机像以光为刃铸剑高手,硅片粒顽石变为智慧之脑,闪之间,母版复杂电路设计图形即转化为硅片细微繁密沟壑纹理。谁掌握利刃,拥集电路产业展水平技术掌控权。各达政府直相关战略产业持续投入,争取战略竞争优势,领域,荷兰、美、本早已虎踞龙盘。
世尼康司创建1917,由本领先3光仪器制造部门合并组,现职员6900余。60代期涉足半导体制造领域,1980介入stepper(步曝光机)制造领域,至今已向世界市场提供6200余台stepper,1996stepper销售额(20亿美元)便超司销售额(约35亿美元)半以,达60%。2000尼康司stepper全球销售额达24.3亿美元,占全球光刻设备市场41%份额。1985,nikn司stepper全球销量便取代ga司(1978~1984)霸位(nikn司145台,ga司115台),之产量逐升,1996财政度(19963月~19973月)nikn司stepper销售量创历史最高记录,达900余台,占世界stepper市场销售量(1530台)3/5,19852001,尼康司已连续独霸世界stepper市场之首达16之久。
世属本佳司创建1937,身为“精机光研究”,全球著名跨司,1970开始涉足半导体制造领域,更早尼康1978推激光动准光刻机“pla-500fa”,1979推第台1:1反射投影光刻机“pa-500fa”,1984推第台商品化步重复缩投影光刻机“fpa-1500fa”,1990推第台i线光刻设备“fpa-2000ii”,整80代ann司以产1へ1反射投影光刻机为导光刻设备。截止1991,向世界市场提供pla300~pla600fa系列光刻设备3000台。入90代之,该司光刻设备转向以stepper为。1996市场销售额达12.12亿美元,世界半导体设备司排序第五,stepper销售市场排名第(尼康、佳、a**l)。stepper市场集本欧洲,2000全球市场销量为260台,2001约为400台。
,花百红,千。
世a**l司2011已垄断高端芯片曝光机市场,控制低端芯片曝光机市场80%份额,拥整芯片曝光机市场105%利润(因为尼康尼亏损),,a**l垄断格局更加明显,佳识务,2008开始逐步退芯片曝光机业务,停止亏损,专注打印机业务。本最财团菱集团甘失领域产,竭尽全力支撑尼康芯片曝光机,亏损愿意退,结果越陷越深。