第390章 五步光刻法
重生之北国科技 · 冰城之光
19923月
新华社全文播“为改革开放保驾护航”
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全彩议室
今开特别全，因为司新节点。
议桌央，摆放几块10.4寸tft-ld样品。几块样品，产线设备跑。ld产线，终彻底跑通次。
，跑通，等马投产。因为产品质量问题，良率问题。但剩情相办，慢慢磨间吧。
“样品给骆师姐送吗？”
“送，她电路板已准备差，估计两，品送回。”
议室众，第块以显示图案ld品，期盼。
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议重点，永远良率问题。
df工序，被引入以，按理tft-ld良率，应该什问题。剩很普通半导体加工工序。
光电虽晶圆产验，但led产验算少。但实际情况，并非，ld尺寸，实太。
“，边五次光刻技术，否熟？”
王青山产线调试技术负责，现开始，产率，良率问题，情。
“怎？”
“产品良率足，跟现tft加工工序次数关系。”
tft加工工艺，晶圆原理本质区别。每次光刻，膜，清洗，涂光阻胶，曝光，显影，烘干，蚀刻，光阻胶，检查，走遍。
目tft加工工艺，采七次光刻工艺。基板需通七次光刻，才完加工。
晶圆芯片加工程，几次光刻，最少。为什晶圆厂品率很难提高缘故。步骤越，总品率越低。
“，果技术，赶紧拿吧。”
白边加入战团，劝。
“吧。”
永兴犹豫，但妥协。技术，准备保留代。历史，五步光刻，几才现。
议很快转向它议题。
例产原料送检等。但些影响度。
，错，，怎值关。
全彩员工角度，些供应商，谁？产原料，反给添麻烦。
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，白永兴，王青山议室闲坐。
随产线全线调通，情，慢慢放松。
刘民最接任《光电设备》总理，但怎冰城，以总理，挂名。
几属设备厂，完全以独立工，级单位，太关系。
冰城光电设备本部，重建套独立管理班，周强等批，兄弟单位调动。
“显示基计划，直批。”
“知。”
“怎点急呢？”
白永兴态度，感点奇怪。
“急吗？”
“呵呵，啊！”
急。情永兴身，白觉察丝寻常。
轻，很情，急躁很。例产线全线调通。但些情，镇静令奇怪。
“，朋友托给带话，希望以把正式线，设申城。果以，帮助推动项目审批工。”
随间流逝，光电第间厂房，入验收阶段。
几乎认为，间厂房为正式线准备。
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“吧。现样挺吗？”
带世观点，永兴项目审批，很以为。
批给，名正言顺，批，挡花钱吗？
，连贷款。且随第块液晶样品现，何搞钱，永兴些别样想。世，拿ppt骗钱呢！
“样，条正式线，己资金，论何建。”
白数样，根本资金，建设全负荷产线性。
为全彩总理，找钱本举动。
led屏，确实很挣钱，但果靠利润滚存，攒50月才攒够条正式产线需投资。
“朋友讲，果条线够放申城，配套资金，以负责解决7。以提供各税收优惠，条件非常。”
全彩，产线设哪，区别。光电少职工，原籍江浙带。
世，晶东，全各建产线，甚至建内蒙古，哪钱，哪建！
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“正式线，目建打算。两，准备再条试线。”
“试线？条试验线目什啊？”
“次准备提高ld辨率。”
辨率，错借口，但确实需。随间流逝，第次ld景气循环再几月走。
居安思危，随升波段，降波段，接踵至。何度寒冬，必须考虑情。
“次设备需求，跟次样吗？”
“样，次求厂准备5微米精度！”
新技术采推广，永兴策略始终步快跑，温水煮青蛙。
第次10微米，因为验，想给设备厂商增加畏负担。
但闯第关之，再继续放纵。
钱哪挣？
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历史改弯，ld产线世代称呼，以全彩命名规则为准。
为区各代产线，已建代产线，被称为第代。
代产品光电ld领域第次尝试。它特征，产品尺寸较，最12寸，别率比较低，640x480。
马开，被称呼为第代。
第代尺寸被放15寸，最辨率则被提升1024x768。它针目标，工站显示器市场。
“样话，难度少，各设备厂恐怕很济压力啊。”
第代设备，算试，样品，各拿很热情参。某角度，为抢占市场，赔本干，拿。
第代产品效益，开始研第代，光研本，各承受。
“关系，第代线现启动，跟各厂提打招呼。至代线，准备再建几条。让准备挣钱。”
“几条？试线？为什建条试线？钱哪？”