学霸的军工科研系统 第1429节

“常院士工建委体系内…量很重。”顿顿，声音压低几，“防科工委改制重组，某意义围绕整合代表沿科技力量……样号物谁罪，提求，拒绝。”

随左右踱两步，抬头向吴明翰：“，产线毕竟核核，流程安全规范破例……常院士明确随员吗？”

“听意思，应该己……”吴明翰回忆，“应该包括必警卫之类，但总之规模。”

“嗯。”周迅速拿随身本记，“另外，透露什？比，为什突制造环节感兴趣？似乎偏离贯研究领域。”

吴明翰思索：“提火炬集团火炬-.b.拉利布局智制造工业物联网，需高规格芯片供应……但肯托词。”

周并非专业技术员，但业总归点基本认知，点点头表示意判断。

“非话……”吴明翰微微皱眉，“火炬实验室某关键材料取突破，材料半导体制造，特别光刻环节，存潜关联。”

“材料？”周笔锋顿，“果真样话，觉……什影响？”

“想象空间太……”吴明翰撇撇嘴“光刻胶，掩模版材料……但具体信息，些瞎猜。”

周若思点点头，合本：

“明白。先回，处理，尽快给答复。”

送走吴明翰，周眼餐厅牌，突变毫胃口。

转身快步，回己酒店房间。

关门、锁，打开笔记本电脑，气呵。

很快，便场临核层视频议。

屏幕，董长徐志坚、e赵俊华以及另外两名关键董头像陆续亮。

两位差途，实参。

数已决策需之门槛，且关键角色。

周直切题。

“……工建委总顾问、航空动力集团常浩南院士，刚刚通吴明翰院士提，希望近期参观津门基产线……”

尽快速度，把刚才吴明翰汇报内容重复遍：

“吴院士已代表司口头意，并表示常院士希望最真实产状况，非表演，考虑常院士身份特殊，且求突，需提请各位紧急审议。”

，目光扫屏幕，突意识位董新加坡籍，未必非常解内情况。

专门强调：“常浩南院士身份影响力很足，某程度，甚至以代表工建委框架内科技意志战略资源，动求深入核制造区域，信号本身，非。”

视频头阵短暂沉默。

董长徐志坚率先开口，声音沉稳力：“常院士名字份量。亲点名产线，本身重视，甚至某信号。原则意全力接待，开放必区域。周董，做。”

随向董，“各位意？”

“意。”

“附议。”

另外几迅速表态。

件情，任何正常做选择，什歧。

但很快，e赵俊华蹙眉头，审慎语气：“开放区域问题，但状态……否包括正攻坚重曝光实验区？”

“意思，良率极低，报废晶圆堆积，设备调试窘迫失败案例比比皆……”

话语未尽，但担忧显易——

担影响司形象，乃至影响未资源倾斜。

周立刻接话：“赵总，认为现顾虑‘形象’候。”

名董表示赞：

“华芯际i代工领域手内……至少陆，以常院士目，恐怕给打评级，果遮遮掩掩，反错失某些关键契机……”

“……”

意思很明确：

华芯际今属业内龙头，即便际范围内星、台积电、英特尔、联电半导体等少数竞争手。

以，论常浩南最终带信息、资源，某颠覆性技术路径，必最直接受益合，担什形象问题。

实际选。

赵俊华本并非特别坚，之顾虑更职业本。

听番析，眉头渐渐舒展开：

“……意。”

“！”徐志坚点点头，“提议由老周具体负责，立刻协调津门基，全力准备接待常院士。”

虽提议，但本已达致情，董长提议基本决。

因，点头表示意。

谨记，徐志坚继续给更细节指示：

“求：第，安全规范严格执；第，参观路线精规划，既展示熟量产力技术储备，绝回避任何瓶颈；第，组织最强技术团队随，随准备解答常院士提任何深度技术问题，负责现场，吴院士全程技术陪……”

周突打断：“常院士意思，兴师动众，由参观组织即。”

徐志坚愣，笑笑，善流：“老赵，让津门基黄炜负责现场……”

“……”

决议迅速全体确认。

华芯际艘巨轮，因常浩南意外参观请求，开始缓缓调整航向。

第1607章 重曝光

，未信息产业圆满落幕。

常浩南婉拒续交流活动，周两名便装警卫陪，乘坐辆低调巴车，直奔华芯际设置津门海河新区产研基。

按照常浩南本求，基设置盛欢迎仪式。

负责黄炜提回津技术总监吴明翰，以及几名核技术员安静等候。

常浩南车，为首两立刻迎。

简短寒暄，常浩南便专引导，往更衣区。

晶圆制造洁净度求比手术室严格百倍，因入核区域之，必须换全套特制尘服，并严格风淋除尘程序。

踏气动闸门之，空气剩特洁净室气味，以及微弱机器嗡鸣。

透观察窗，以批完抛光清洗、表光洁镜硅片，正被机械臂精准送入沉积区，薄膜长。

“常院士，最基础环节之，硅片制备初始加工。”黄炜声音透通讯系统传，“表处理、清洗、沉积必镀膜业之，晶圆才入光罩制……光刻环节。”

黄炜边介绍流程，边注视动化流程完。

正巧，批次晶圆刚刚完镀膜，被机械臂取。

示意操员取片样品，隔专视窗展示给常浩南。

晶圆表反射顶灯冷光，呈现均匀光泽。

常浩南俯身盯晶圆尺寸边缘，伸手隔玻璃比划，问：“黄总，批200（8英寸）？”

“，常院士。”黄炜肯，“目量产力尺寸。”

旁边吴明翰适补充：“12英寸（300）产线备产阶段，……现司资金顶尖工程资源，绝部集投入光刻环节突破，尤利现深紫外（duv）设备攻坚更先制程研。”

“技术储备角度，并落太，旦资金或关键设备位，提速很快。”

常浩南微微颔首，言，示意继续。

“光罩制区。”黄炜边引路边介绍，“把i设计图电束刻石英片，制光罩，东西类似照相底片，刚才产晶圆相片纸，基本原理洗照片差。”

虽完全准确，但足够动，哪怕外很容易理解。

“给客户提供代工服务力区域。”黄炜指几台正运光刻机介绍：“除满足内i设计司需求之外，承接像德州仪器等际厂商部订单。”

常浩南微微露惊讶表情，隔罩展现。

“外订单？”

“嗯，产品向内亚市场。”吴明翰解释，“低水平制程块，流片良率速度优势。”

常浩南突意识，今半导体产业情况，远比己条间线复杂。

介绍间，黄炜注意常浩南目光并未停留运量产设备，投向远处被透明围挡隔开区域。

样属光罩制区，但周围聚集技术员更，氛围更显紧张专注。

“常院士，边研攻坚区。”黄炜解释，“您，产研光刻环节，很候共条线，设备技术互通。”

“边尝试双重甚至四重曝光技术，目标现nxt：1950i duv光刻机，向更特征尺寸冲击。”

常浩南目光转向吴明翰：“之您提，良品率最低、本最高环节？”

吴明翰脸浮现复杂神情。

直接回答，引常浩南走向该区域旁边专门陈列台。

“常院士请边。”

陈列台并非闪闪光品芯片，整齐摆放数片晶圆。

乍之，它刚才完镀膜晶圆似乎并太区别。

常浩南转向，等待更步明。

吴明翰拿靠近片晶圆，指几处微、肉眼几乎难以辨重影区域：“‘套刻误差’导致报废。重曝光，第次曝光形图案第次曝光需精确准。哪怕几纳米偏差，迭加整电路失效。”

放片，拿另片，指表某些线条粗细明显均：

“‘关键尺寸偏差’，次曝光、显影、刻蚀累积效应，导致区域线宽保持致，超规格极限。”