学霸的军工科研系统 第1430节

再拿第片：“‘显影缺陷’……工艺窗口太窄，稍慎，图案毁……”

“……”

数珍般介绍每类报废原因，语气平静，却像展示场场微缩战役遗迹。

“些，算交费……，euv光刻机很获取，唯、通往更先制程技术途径。”

话语听太抱怨，客观规律奈。

常浩南目光缓缓扫片触目惊“报废陈列区”，些承载高昂代价失败印记晶圆停留几秒。

移开目光瞬间，视线落陈列台旁边墙眼展示框内。

框并非照片或奖状，张略显陈旧、线条密集工程结构图。

或更严格系列结构图。

已些头，以至标注各光参数镜片结构些模糊。

“……物镜组设计图？”常浩南走近几步，指张图，“做光刻设备研？”

旁边几微微怔，想常浩南注意角落。

“常院士眼力。”吴明翰走解释：“……些。”

张图站，打量番：

“世纪初儿，内连紫外光刻机几乎空白，确实组建研团队，尝试研核部件，尤物镜系统……张图列，陆续设计系列果。”

语气带丝缅怀感慨：

“毕竟资源限，散精力搞设备研……且长光沪光边很快承担光刻机整机核部件攻关任务，以内部评估，停止项目，把力量集工艺优化制程提升，研究止步些图纸。”

指指图复杂透镜排布：

“您，典型全折射式设计，依靠量高精度透镜组合聚焦光线，现流先浸式光刻机，更复杂、更精密，但更强折反式物镜组，结合反射镜折射镜优势。”

提段历史，群气氛间些微妙。

直安静旁听周开口补充：

“虽最亲场造光刻机，但段早期研投入算白费……光刻工艺本质理解源阶段，快速吸收掌握设备，攻坚产工艺打基础。”

常浩南凝视张略显泛黄图纸，手指展示框玻璃轻轻划些代表透镜圆形轮廓代表光路射线，若思点点头。

些问题，本打算再趟长光。

但现，似乎省。

第1608章 两手准备

参观结束，基顶楼间安保级别极高专议室。

厚重隔音门关闭，剩核几。

短暂沉默，常浩南端茶杯抿口，放，目光直接投向吴明翰。

“吴院士，抛开继续优化重曝光辨率增强技术条路谈，现193n arf光源条件，想提升单次曝光辨率，更直接技术路径？”

手握负折射材料王炸，最根本解决案走向表等离体光刻，由携带高频信息倏逝波取代低频传输波像，直接掘半导体产体系祖坟。

但情相零开始盖高楼，连理论基础重新，显朝夕完。

以为应眼随现危机，最现基础，整点短平快升级手段。

吴明翰直思索常浩南真正目，但问题实普通，深究什东西。

照常回答：

“相波长光源，型号光刻机，比现nxt：1950iasl更先nxt：2000i，它性差异核指标数值孔径（na）工艺系数。”

拿激光笔，桌投射简易光路示意图：

“na值，简单，决光系统收集汇聚光线力，项越高，理论达辨率极限越。”

激光笔光点停留象征物镜透镜组位置：

“具体，na等底镜、浸液光刻胶折射率（n）乘积，再乘以孔径角半角正弦值，光刻胶孔径角设计由度限，以另外两项材料。”

“目使nxt：1950i，氟化钙底镜，配合2g系列浸液，na最高达1.35左右，更先nxt：2000i，底镜性更氟化锂钡，浸液优化3g系列，把na推高1.45左右。”

吴明翰放激光笔，向常浩南：

“，基本传统技术路线极限。”

常浩南直专注听，刻微微皱眉：“浸液块熟悉，……底镜为什折射率更高材料？”

紧接补充更详细数字：“记……镥铝石榴石折射率接近1.9？”

之做实验程。

问题口，议室内包括周、黄炜内，几乎精神振。

倒问题本身精深。

足够具体。

绝非外随口问问题。

论答案什，强烈印证点：常院士，绝带明确技术目解决案！

吴明翰立刻回应：“镥铝石榴石确实目已知、深紫外波段折射率最高透明材料……理论，果它功应物镜底镜，结合目最高端第代浸液，确实na值提升1.70……或更高。”

先吹捧番，话锋转：

“，高折射率带高na值弊端。”再次拿激光笔，刚才示意图重描绘底镜位置：“优秀光刻物镜组，求光线系统内走势尽平滑，光线折射角传播则必给系统带较像差色散差。”

“设计物镜组程防止系统内反射镜之间遮拦像光束，另尽降低因为超高折射率导致像差色散差，难度极高……算设计够实现，需引入更镜片元件、更复杂曲设计……”

“……”

吴明翰并非光系统身，但部知识半导体产领域言算特别沿，以很快解释清楚：

“总之，目做。”

，结果却让常浩南感气馁。

尤听像差色差候——

论“突破衍射极限”猜想否够，负折射率材料负色散特性总归确存。

单凭色差补偿颠覆性力，足以为解决超高na物镜组设计痛点关键。

迅速盘算：

果把现duv光刻机na值1.35幅提升1.70以，相把等效辨率波长142.2n压缩112.9n。

极扩展现duv设备实力边界，直接解决40n乃至28n图形化问题，显著减轻重曝光技术依赖，绕开良率本泥潭！

片刻思索，常浩南已初步盘算。

依旧直接点破负折射率材料存，但决再向推步。

“实相瞒，火炬实验室目正探索新型光系统设计理念，涉及些……非传统路径。”措辞谨慎，“为更评估新理念潜力，迫切需些关键设计输入参数。”

吴明翰终。

提求极具体且专业，目标明确指向物镜系统。

结合之提“新型设计理念”镥铝石榴石特性关注，模糊但激动轮廓吴明翰脑海逐渐浮现——

常院士手，很掌握够解决高na值问题颠覆性技术！

想，肉眼难辨速度掏早准备纸笔：

“您”

常浩南眼副早准备样愣，开始列需求：

“首先，需明确目标na值应、实际光刻工艺求光设计规格。包括但限：效像视场、允许最波像差、畸变容限、系统工距离等硬性指标。”

“次透镜组整体结构布局……”

“……”

洋洋洒洒，几钟才终完。

吴明翰头尾浏览。

知常浩南意，总之几乎涉及华芯际核技术。

甚至需向董征求意，层级直接做决。

朝周点点头。

随即接话茬：

“虽全折射物镜研项目已止，但技术文档实验数据完整归档保存，以直接授权调阅，虽初设计远达1.7na指标，但设计逻辑、材料选择考量、以及遇像差问题记录，应该很价值。”

“放，调阅足够。”常浩南点头，“套体系，知内部些保密求，复制。”

周听罢，略略松口气：

果真拷贝份带走，难做己。

“感谢常院士您理解。”

周搓搓手，但旋即语气变：

“，常院士，关折反式物镜系统……华芯些最基础原理性解开文献搜集皮毛信息，详细设计数据、材料应像差控制验，掌握很少。”

“内真正精，应该首推长光集团，高端光刻光系统研绝力，负责承担物镜系统攻关任务……”

吴明翰儿已把本收，重新开口：

“常院士，果需话，以立即长光取联系，由华芯协调，否为您获取必规格信息或设计参考……长光张汝宁研究团队，真正权威。”

果。

常浩南想。

省功夫。