学霸的军工科研系统 第1437节
学霸的军工科研系统 · 十月廿二
绝非块镜片解决。
“太稳……”位长光光工程师忍住低声惊叹。
栗亚波结果早预估，但真亲眼候，忍住挂抹笑容——
果果顺利投入应，连己院士头衔，以提议程。
正常情况，门双院士，般老师哪院，哪院。
但老师身兼双院院士。
哎呀，候该怎选呢？
真令感痛苦抉择呢……
……
栗亚波已忍住想入非非候，何修带激动声音传：
“数据！”
恨把头塞屏幕：
“相比基准波长，系统波rs值（均根值）升……0.15！”
实际应，duv光源宽度很窄，囊括486.1n193n宽范围。
因数值换算光刻机，已非常优秀结果。
身另名工程师直接哆嗦：
“……比之任何套全折射或折反式系统波段稳性！”
张汝宁紧抿嘴唇，话，但紧握拳头微微松开，肩膀耷拉少。
，以彻底放松候。
电脑屏幕，arf波长干涉条纹依旧清晰辨。
虽比长波长略粗些，但整体形态保持良灾难性崩溃。
“提取泽尔尼克系数，重点析离焦项z4！”
张汝宁语速加快。
泽尔尼克系数量化光系统像差标准数工具。
z4项，代表离焦，正由色散差导致核像差之。
何修熟练操软件，干涉图样高速采集析。
几秒钟，结果跳！
“z4值……-0.042λ。”
何修声音由兴奋显尖锐：
“比之最功消色散案，套透镜系统等焦距实测z4值减少差之……”
减少之，很重。
但最重。
“且，”张汝宁补充，“套系统体积，传统消色散组件五之！”
更紧凑体积更简单结构，相给物镜组它部留更高由度。
显，功。
仅仅数据胜利。
为突破asl光刻技术封锁，打开扇充满希望窗……
。
何止开窗。
把房顶给掀……
众沉浸初步功喜悦，气密门再次滑开。
名测试员探头：“栗教授，电话找，常院士。”
正跟另外几讨论结果栗亚波愣，接匆匆离开。
但仅仅几钟，复返。
“各位！”栗亚波打断讨论庆祝。“常院士让立刻通知，尽快顶楼议室集合！”
张汝宁脸笑容瞬间收敛，严肃：
“栗教授什急？”
旁边设备，电脑屏幕数据：“实验些收尾重复验证……需？”
“老师，找全新理论！”
因为之路跑缘故，栗亚波呼吸些急促：
“以替代现体系，偏振像差描述理论解释。”
话，连正坐电脑析数据何修停手动，转头向栗亚波。
“替代琼斯矩阵？”
止脱口。
传统光系统像程，光做标量处理，忽略矢量特性。
但投影光刻物镜，数值孔径na断增，光矢量特性像效果影响逐渐增。
尤3g浸液镥铝石榴石样na值预计1.70系统，传统标量像差理论已足以完全表征光系统像性。
必须使偏振像差理论。
，偏振相差甚至完善描述形式，穆勒矩阵琼斯矩阵各适范围。
果解决问题，疑补超高精度像领域缺口。
张汝宁瞬间做决断：
“先暂停手头实验操，锁设备状态！”
“何，注意保存数据。”
“，跟楼！”
第1615章 束光向
约钟，张汝宁研究团队全体员，栗亚波等火炬实验室代表，坐火炬实验室顶楼议室。
常浩南站讲台旁，眼乌青清晰，显连劳费神。
精神相振奋，显情错。
身占据半墙显示屏，密密麻麻式符号令望畏。
尽管座光领域资深研究员，但样片迷宫般数字符号，难免些怵。
，之常情。
数嘛，。
众坐，任何寒暄，直接指向屏幕最矩阵：“，想必陌吧？”
议室响阵轻松笑声，抹才丝凝重。
“描述偏振像差琼斯矩阵。”何修推推眼镜，应声，“搞光，吃饭理论基础。”
“错。”常浩南微微颔首，“琼斯矢量琼斯矩阵，部相干像领域确应。”
激光笔点屏幕：“但琼斯光瞳本身并非表达偏振像差最佳形式。”
些内容座众算高深，以常浩南语速非常快。
“关键，它明确给偏振像差相位延迟振幅极化具体值，以需琼斯光瞳解。”
，故意停顿。
果，很快接：“传统泡利矩阵基琼斯矩阵解，四复数系数。”
常浩南点点头，直接屏幕找并圈解结果。
“很典思路。”评价。
紧接话锋转：
“，四系数本质通数手段硬凑，各并非常明确物理意义。”
张汝宁稍稍坐直身，开口：
“工程实践，通常认为：解结果a0项实部代表切趾（光强非均匀性）、虚部代表波像差，a1、a2、a3项实部应振幅极化、虚部应相位延迟。”
常浩南并非光工程身，听解释之微微愣。
转身，仔细检查屏幕提应关系。
片刻，重新向众：
“确实工程近似……但严格数物理角度审视，数值等并意味物理意义等……更何况泡利解结果，连数值近似等，严格等。”
“张研究员，应该错吧？”
“错。”张汝宁点头，“数值差距很，据知即便euv光刻系统，因为误差产影响。”
常浩南摇摇手翻页笔：
“问题，等价物理意义，根本复杂偏振系统析。”
月，张汝宁几乎养常浩南完话之意识点头习惯。
但随即关注重点：