学霸的军工科研系统 第1443节

“正因，今才专程火炬实验室，考察产光刻机研制度……续展景。”

“级需最硬底牌，做抉择！”

次，常浩南马回答。

倒理解栾文杰，或理解决策层临巨压力复杂权衡。

“为依赖外向型济，外部贸易环境变化确实比较敏感。”

常浩南先坦率承认，接话锋转：

“但，美为什候，动抛样似平、甚至些让步案？”

问答：

“恰恰明，己必胜把握万全准备……‘联盟’并非铁板块，企业样害怕失庞华夏市场，害怕硬脱钩带反噬！”

“以节骨眼，比谁更绷住！谁意志更坚！谁底牌更硬！”

栾文杰明白理。

些话，级表态，太直接口。

以接话，延续刚才话题：

“级现最担点，长光集团短期内仍解决euv光源问题，未2-3内，芯片制程步7n升级5n。”

“算凭借arf-1800，利duv光源解决7n制程燃眉之急，否满足长期求？”

问题，显已比较具体。

且直接指向场科技抗最深远、最核命门。

常浩南立刻回答。

微微垂眼帘，似乎思考，似乎等待。

办室陷入短暂寂静。

墙挂钟秒针，规律清晰“滴答”声。

忽，常浩南站身。

动干脆利落。

“栾任，口凭。”

脱掉西装外套，衣架取两套淡蓝色工装：

“正，测试边，今安排arf-1800光刻机物镜系统最关键轮集测试，数据采集应该正。”

走栾文杰，把件交给：

“百闻，请您移步，跟亲眼证……手张‘底牌’，底硬。”

“至euv……”常浩南再次露刚才拿维素片样神秘笑容，“或许，完测试，您些新想。”

栾文杰精神振，蹭立刻站身。

“常院士，请带路！”

两，快步走办室。

直等候外几名秘书警卫紧随。

走廊响众急促脚步声，直奔楼深处座超净测试。

房门身轻轻合。

办室内，电脑屏幕篇鼓吹“投诚”长文，依旧停留。

声，显格外苍白笑。

第1621章 40n27n跨越

几钟。

换防护服跨双层气密闸门，轻手轻脚踏入崭新设立尘测试间。

视线透防护罩视窗，栾文杰几乎瞬间捕捉房间央座巨型光平台。

形似手术台却被放数倍，密布调整架、导轨传感器接口，几束颜色指示激光束平台交错扫描，令些目眩。

平台周围，则七八身连体式白色尘服、头戴全封闭护具忙碌身影。

张汝宁，团队。

部沉浸己任务，身气密门开启访客浑觉。

坐控电脑何修任务较轻，眼角余光瞥气密门开启微弱指示灯变化，以及随鱼贯入常浩南众。

意识身，但动刚半，常浩南隔罩压压手掌，示意继续工。

何修立刻意，强按捺住惊异，重新注意力聚焦屏幕跳动数据波形图。

直约钟，伴随仪器阵清脆提示音，控制台最组指示灯随之由红转绿。

张汝宁释重负舒口气，肩膀微微松弛。

习惯性转身，准备招呼短暂休息。

，转身，整瞬间僵住。

几米开外，正伫立几身影。

跟样，穿封闭白色尘服。

由罩存，太清楚孔。

体型动习惯辨，为首左边位，应该常浩南。

至剩几，则像火炬实验室员。

“常院士？”

张汝宁声音透罩，显些瓮声瓮气，但听明显错愕，眼神几之间游移。

栾文杰倒知眼常驻火炬实验室系统研长光集团技术团队，但因为样原因，清谁谁。

常浩南及开口，向别介绍身份。

，栾文杰总算精确目标，几步张汝宁，动跟握握手。

听刚才介绍之，已脑嗡声愣住。

工建委把手！

意识想些“欢迎领导视察指导”之类场话，但嘴边却猛卡住——

眼火炬实验室盘，己身为临工合，做欢迎表态似乎喧宾夺之嫌。

结果僵原，知何。

股微妙尴尬瞬间弥漫开。

“栾任，刚刚被提升两模组，专门给see arf-1800光刻机研物镜系统，为照组arf-1500物镜”

常浩南及开口，把众注意力转移旁边测试平台。

形压力瞬间消失，张汝宁蒙赦，立刻接话题：

“刚刚测试，193nduv光源条件，比新旧两物镜案性……”

栾文杰并非光系统或半导体身，之光刻机被卸八块之样，以意识体积更1500模组旁边，左右圈才瞄向另边体积更加紧凑1800模组。

“体积？”

显，把更模组更先。

传统，光刻系统物镜组确实性体积正比。

常浩南路实寻常。

张汝宁赶紧解释：

“采火炬实验室提供负折射材料，结合常院士提‘折反镜体设计’理念，简化物镜组光设计。”

听“简化”两字，栾文杰才意识己把目标给搞反。

把脸给丢，以故沉踱步更模组旁边，微微俯身，似乎想眼繁复结构找些许相似之处。

理失败。

“传统折反式物镜组内部包含超片精密镜片，校正像差、色差，并尽提升数值孔径……仅结构复杂，体积重量很，且反射元件加工精度求非常苛刻。”

张汝宁步介绍：

“更新1800物镜组，部功被集少数几片核镜片，独立光元件数量缩减14，以体积比老型号半以……”

“……”

，直坐控制电脑何修突站。

“张组长，最新组测试数据已处理完！”

走张汝宁走栾文杰身边，汇报：

“193n波长，1800物镜组等效数值孔径（na）实测最值为1.8009，最值为1.7996，na致性达±0.0013，该数值远优设计指标求±0.006，完全符合设计案理论na值1.80预期……”

“全视场振幅极化量rs（均根值）实测最11.85%，最11.80%……”

“全视场相位延迟量rs实测最3.77n，最3.45n……”

实际，数参数之已测完，且往常需专门汇报遍。

报告导，别翻阅。

但刻亲临线栾文杰，份详尽几乎冗余数据汇报，显格外“恰处”且量足。

“等等。”

果，栾文杰打断续参数报告。